THKは9月26日、高加減速対応・低摺動のミニチュアLMガイド「AHR」の受注を始めた。半導体チップの生産能力向上に役立つ高加減速に対応したもので、高い耐久性を兼ね備える。既存の2列ゴシックアーチ溝を採用したミニチュアLMガイドの取付寸法の互換性がある。
新開発のボール循環部品により最高秒速5㍍、最高加減速度300㍍/秒/秒を実現し、半導体製造装置に向く。特に高い生産性能が要求されるダイボンダーやテストハンドラーといった半導体製造の後工程設備、チップマウンターなどの主軸案内部の使用に最適化したという。
（日本物流新聞10月10日号掲載）
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2020年11月26日
