半導体部品加工のエアーをクリーン化
前田シェルサービスは、インライン用フィルター「L-70」シリーズおよび大流量モデル「L-300」のろ過精度表記を、従来の0.01ミクロンから0.003ミクロン(3ナノ)へとこの7月に性能改定した。
もともと精密塗装や食品、電子部品の製造現場で高純度エアー供給用として信頼を得てきた製品だが、半導体関連市場でのクリーンエアー需要の急増を受け、性能表記を大きくアップデートした。性能強化の背景には、半導体素材や製造装置の加工部品、薬液供給系パーツの製造現場における品質管理の厳格化がある。部品加工後のバリ取り用エアーブロー工程などで微小な不純物が付着するトラブルを防ぐため、大手メーカーからサプライチェーンの協力会社に対しても、エアーのクリーン化要求が強まっているためだ。しかし、クリーンルーム設備を持たない加工工場も多く、「何から改善すべきか分からない」、「コンプレッサーなど設備全体の改修はハードルが高い」といった悩みが絶えない。そうした中、同社が実施しているエアー品質測定サービスの利用が急増しているという。
同社は「設備全体に手を加えなくても、フィルターを設置するだけで現場のエアー品質は劇的に改善できる」と提案する。ろ材に採用されている中空糸膜は広大なろ過面積を持ち、目詰まりに伴う圧力損失が生じても異物を発生させない安定したろ過品質をもつ。毎分450リットルもの大流量に対応するL︱300を含め、特定ラインのみを手軽にクリーン化したい加工現場のニーズを捉えた製品として存在感を強めそうだ。
(日本物流新聞2026年7月25日号掲載)