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YOUIBOT社の「OW12」。協働ロボットを搭載しており、12インチのウェーハ格納ポッドを取り扱える

半導体向けAMRが評価

 中国・深?に拠点を置くロボットメーカーYOUIBOT(ユーアイボット)社は、2024ロボット工学自動化発明起業家賞(IERA)の最終選考にノミネートされたことを発表した。同賞はIEEEロボットオートメーション学会と国際ロボット連盟の共催で、新たな価値の創造につながるアイデアを持つ発明家と、アイデアを世界クラスの製品に発展させた起業家を表彰するもの。半導体のスマート製造に寄与する同社の能力が高く評価されたという。
 ユーアイボット社は、高精度なSLAMナビゲーションアルゴリズムとソフトウェアをコア技術とするAMR(自律搬送ロボット)メーカー。半導体工場の自動化に強みを持ち、TSMCSMICなど多くの半導体メーカーで実績を持つ。同社のAMRは複雑な環境でも?_単位以下の精度で安定した動きを維持可能で、オーバーヘッドホイストによる搬送に依存する半導体工場を柔軟性の高いAMRや協働ロボットで補完、安定的かつ効率の高い生産を実現する。「第1~3世代半導体のエッチングやFAB、ダイシング(チップ分離)、パッケージングなどの生産工程を広くカバーする」としている。

2024625日号掲載)