空調サブコン大手の大気社は、12月19日まで東京ビッグサイトで開催した「SEMICON JAPAN 2025」に技術商社・水戸工業と共同で出展。精密温調チャンバーに水戸工業の持つ解析技術を組み合わせ、半導体業界で高まるより高精度な検査・測定ニーズに応える姿勢を示した。

精密温調チャンバーは主にクリーンルーム内に設置し、よりノイズの少ない環境での作業が求められる半導体製品の品質検査などに使用される。近年進む半導体の微細化の影響で、検査工程にもより厳密な温度や湿度管理を施した精密温調チャンバーのニーズが高まっている。

「微細化に加えて、アドバンスドパッケージにおいて関心が高まっているガラス基板は、シリコンなどよりも温湿度影響を受けやすい。測定ブレを極力排したいという要求は半導体製造装置メーカーを中心に国内外で高まっており、こうした今後も続くと見ている」（同社関係者）

ブースでは同社100%子会社である日本ノイズコントロールによる消音技術も紹介。一般的な工場などでは問題とならない空調設備のファンやダクト由来の音波（細かな振動）も半導体製造領域だと問題になる。これまでも吸音材などをダクトにつけて構造的に抑え込むパッシブ型の消音技術は提供してきたが、「（要求が）除去しきれていない周波数への対応まで至っている」ことから、新たに逆位相の音波をぶつけて相殺するアクティブ型の消音技術を開発・披露した。「半導体業界では日々より高い技術力が求められているので、その流れについていけるよう、技術力をより高めいい物を提供していけるようにしたい」

（日本物流新聞2026年1月25日号掲載）