山善は12月19日まで東京ビッグサイトで開催された「SEMICON JAPAN 2025」に初出展した。今期に入り半導体ソリューション支店を設置するなど力を入れる半導体領域の開拓の一環。会場ではコストパフォーマンスに優れた電子顕微鏡やFab向けAGVなどを実機実演で提案した。

中でも注目を集めたのが、サブミクロンサイズのサンプルを観測可能にする光学顕微鏡「ORES-6000シリーズ」。電子機器の開発・製造に強みを持つオオクマ電子（熊本市）と共同で開発した製品で、1ミクロンサイズのウェハチップのパターンなどをSEM（走査電子顕微鏡）を用いずに観察することができる。

半導体の観察工程ではSEM計測の前処理に光学顕微鏡を用いた不良個所のマーキング、表面部の除去が行われる。しかし、一般的な光学顕微鏡の分解能（識別能力の限界）は数ミクロン程度にとどまり、サブミクロン領域の不良特定には限界があった。

「SEMを使うと表面が改質・硬化してしまうため、事前に光学顕微鏡で不良位置の特定と原因箇所の露出を行う必要がある。しかし、分解能不足が原因で目的の断面に達しないままSEM工程に進んでしまうことも多く、必要な検査ができずに戻ってきてしまうという現場のお困りごとから開発した」（同社担当者）

マーキング用のレーザーも1ミクロンまで絞れるユニットを新たに開発。必要に応じて後付けも可能にした。既に引き合いがあり、同社が半導体市場へ参入する糸口の一つになっている。

（日本物流新聞2026年1月25日号掲載）